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          JD-1200全自动软轴单晶炉

          JD-1200全自动软轴单晶炉,是软轴提拉型单晶炉,是在惰性气体环境中,以石墨电阻加热器,将一定纯度的硅材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备,它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶。该设备最大可使用28英寸的热系统,最大熔料370kg,拉制10英寸或以下的单晶。由于投料量的增大,产能比JD-1100炉型提高20%以上,是JD-1100型单晶炉的姊妹机型,除具有JD-1100型单晶炉的特性外,从外观设计、维护维修便利性、自动化程度和各项性能指标等方面,均有很大幅度的提升。

          1

          型号

          JD-1200

          2

          名称

          单晶硅炉

          3

          电源电压

          380V

          4

          电源频率

          50Hz

          5

          加热方式、加热组件

          电阻加热、石墨加热器

          6

          主加热器最大功率

          165KW

          7

          主加热器最高加热电压/电流

          55V/3000A

          8

          辅加热器最大功率

          60KW

          9

          辅加热器最高加热电压/电流

          50V/1200A

          10

          整机功率

          240KW

          11

          炉内最高温度

          1600

          12

          冷态炉内极限真空度

          3Pa

          13

          生长晶体的直径范围

          10

          14

          熔料重量

          Max  370kg

          15

          原料

          多晶硅原料

          16

          主炉室尺寸

          Ф1200×1400mm

          17

          旋转阀通径

          ¢360

          18

          副室+操作室尺寸

          ¢360×4600mm

          19

          籽晶拉速范围

          0.110mm/min

          20

          籽晶快速

          ≥500mm/min

          21

          籽晶转速范围

          2-30rmp

          22

          坩埚升速范围

          0.021mm/min

          23

          坩埚转速范围

          1-30rpm

          24

          籽晶在副室内有效行程

          4000mm

          25

          主机总高

          10242mm

          26

          主机占地面积

          2518mm×1700mm

          27

          整机占地面积

          5500mm×6500mm

          28

          进水量的要求(压力)

          最大0.40Mpa 压差0.2Mpa

          29

          冷却水用量/

          >25 m3/h

          30

          冷却水进水温度

          25-28

          31

          氩气用量/

          0.3Mpa~0.7Mpa110L/min


          上一个:

          下一个: 6英寸碳化硅炉
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