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          新闻公告

          JQ-900型区熔单晶体长炉

          JQ-900型区熔单晶生长炉是集机、光、电一体化的大型高可靠性、高精度、高自动化的单晶生长设备,整机性能指标达到同类产品国际先进水平。主要生产6-8英寸大规格区熔单晶硅,单晶长度最大可达2500mm, 单晶纯度可达99.99999999%,,其晶片主要用于IGBT芯片、可控硅、红外探测器以及航天航海等尖端科技领域,另外凭其23%的光电转换效率,我们还可以大胆偿试将其用在光伏发电领域。

          1.

          主炉室

          内炉堂直径[mm]

          Φ902X1190高

          2

          上副室

          炉膛直径[mm]

          Φ500 X1800高

          3

          下副室

          炉膛直径[mm]

          Φ500 X2500高

          4

          上传动

          行程[mm]

          2000

          主轴转速[rpm]

          0-30±1%

          主轴直径[mm]

          100

          5

          下传动

          主轴行程[mm]

          2600

          主轴转速[rpm]

          0-30±1%

          主轴直径[mm]

          100

          内轴行程[mm]

          340

          6

          平动组件

          行程[mm]

          ±25

          7

          槽路组件

          行程[mm]

          530

          8

          反射环

          行程[mm]

          50

          快速移动速度[mm/min]

          20

          9

          预热环组件

          行程[mm]

          285

          快速移动速度[mm/min]

          100

          10

          制备外形

          长X宽X高[mm]

          6600X4200X14000

          11

          真空系统

          真空度(mbar)

          ≤0.01

          12

          气路系统

          进气压力[Ba]

          5-12(推荐10)

          生长气流量[L/min]

          50

          气体质量

          C57-0305,等级4.8

          13

          冷却系统

          进水压力[Ba]

          4-6

          进水温度[°C]

          12-25

          进水流量[L/min]

          200

          物理清洁度[mm]

          0.38

          14

          电器

          电源频率[Hz]

          50或60

          电压[VAc]

          3X380

          发生器输出功率(kW)

          120KW

          控制电源(Hz)

          50或60

          电压[VAc]

          3X380

          功率

          10KW

          进电电源整流滤波

          控制系统

          西门子S7-300

          人机界面控制

          Pro-face触摸屏

          CCD监控系统

          基恩士

          上下传动移动驱动

          Lenze驱动

           

          image.png


          上一个:

          下一个: 6英寸碳化硅炉
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