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          多晶硅铸锭炉

              JZ-460/660( G7半熔热?。┒嗑Ч柚τ枚ㄏ蚬袒际?, 采用垂直梯度定向结晶工艺,通过加热器对温度进行精确控制, 有效地控制热量的输入和输出, 从而保证出色的产品质量。 可以在较低的温度梯度下工作, 在85个小时左右的时间生长出1200kg的硅锭。 在生长期间, 利用温度及隔热层的运动形成垂直温度梯度,实现定向晶体生长。 在装料和取硅锭的过程中, 只应用下炉室的升降方式。该炉型单位能耗小于6.5kW.h/kg。标准JZ-460/660(G5、G6)炉型只需通过热场升级便可实现G7炉型大投料量铸锭。

          序号

          项目与名称

          参数

          1

          坩埚尺寸

          1200*1200*520(1200kg)

          2

          铸锭尺寸

          1156*1156*385(1200kg)

          3

          石墨电阻加热功率

          200kw

          4

          最高极限温度

          1575℃

          5

          全过程自动化控制循环时间

          85

          6

          隔热钢笼升降行程

          280mm

          7

          设备占地

          5160*4730*4960mm


          image.png

          上一个:

          下一个: 6英寸碳化硅炉
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